1. 유전체 재료
상호연결 구조에 통합되기 위해 엄격한 재료 특성 요건을 충족해야 합니다.
이러한 요건은 전기적 특성, 열 안정성, 열기계적 및 열 응력 특성 및 화학적 안정성에 기초합니다.
전기적 특성은 낮은 유전율, 낮은 유전 손실 및 누출 전류, 높은 항복 전압으로 요약할 수 있습니다.
많은 고분자 재료들이 전기적 기준을 충족하지만, 폴리머의 치수 안정성, 열 및 화학적 안정성, 기계적 강도, 열 전도율은 SiO보다2 떨어진다.
2.특성
| 전기적 | 화학적 | 기계적 | 온도에 따른 |
| 유전체 상수 이방성 저소산 저누전류 저 전하트래핑 고전계 힘 높은 신뢰성 |
내화학성 식각 선택성 부식 없음 저용해성2 HO 낮은 가스 투과성 고순도 저 수분흡수 장기 보관 수명 환경적으로 안전함 |
두께 균일화 저수축 저스트레스 고경도 밀착력 내균열성 고장력 계수 |
높은 열안정성 낮은 계수 열팽창 저열 중량 손실 고열 전도성 |
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